具体工艺对温度的要求以后还要列举,洁净房但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,洁净房特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。
深圳市蓝思净化科技有限公司,致力于净化行业十余年,是一家集空气过滤器和净化设备研发,生产与销售的高科技企业,产品涵盖各行业所需的空气净化设备及服务,包括对颗粒物(PM10,PM2.5,PM0.1)、病菌、气态分子污染物(TVOC, 酸性,碱性气体)等的评估和检测,并提供全面有效的空气净化解决方案。公司从国外引进目前世界最先进的无隔板过滤器生产线及专有技术。可按GB/T 14295-2008国家标准,GB/T 13554-2008国家标准及国家GMP规范要求为生物制药。。。。。
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