洁净室FFU高效过滤器的DOP检漏怎么操作？

在高效过滤器上风侧发 DOP 检漏时，在FFU高效过滤器的上风侧必须设有 DOP的导入装置及浓度检测管。这两个管子也可以用来检测过滤器的阻力。

　　在检测中，如果室内干扰因素太多，为排除干扰，可在风口出口加隔离罩，在罩内进行检测，这样检测的数据较为准确。

　　尤其要注意的是，在过滤器和安装框架之间的检漏，可以沿安装框架检漏，也可以送风口箱体断面上检漏，但要排除卷吸气流的干扰，要避免箱体上的积灰干扰，尤其是采样口不能接触高效风口箱体或过滤器的框架。

　　在有速度的气流中采样，采样速度应等于气流速度，否则采样浓度将大于或小于真实浓度，即气流速度大于采样速度，采样浓度将大于真实浓度，反之，气流速度小于采样速度，采样浓度将小于真实浓度。

　　假定高效过滤器下实际断面风速为 0.45 m/s，圆形取样口直径Ds 的计算：

　　V×1/4×πDs =Fa 2

　　Fa —— 仪器采样量，28.3 L/min=472 cm3/s

　　V —— 过滤器面风速 0.45 m/s

　　经计算 Ds=36. 5 mm

　　实际上仪器的取样口直径为 35 mm 或正方形 30×30 mm，当然取样口也可以是长方形的，经计算此时的采样速度为 0.49 ～0.52 m/s，可以认为是等速采样。

　　根据国际标准组织 (ISO) 关于洁净室及相关受控环境的测试和测试方法 (ISO14644-3) 中公式计算：Sr ≤Cc×Ps×K×Dp×Fs/Np=50×0.005%×10×3.5×472/Np式中：Sr -探管扫描速率 cm/s;

　　Cc -被测过滤器上风向气溶胶浓度 cm-3 (50粒子 /cm3);

　　Ps -被测过滤器最易穿透粒径最大允许整体穿透率;

　　PL -被测过滤器的最大允许泄漏;

　　K -一个因数，表示 PL 可能比 Ps 大多少倍;

　　Dp -平行于扫描方向的探管尺寸 (cm)，本文使用圆形采样管，直径 35 mm;

　　Fs - 离 散 粒 子 计 数 器 的 标 准 样 品 流 量，

　　Fs=472 cm3/s (28.3 L/min);

　　Np -预期量，表现出泄漏特征的粒子计数值;

　　用下式计算：

　　Np=Cc×Ps×K×Fs

　　Np=Cc×Ps×K×Fs=50×0.005%×10×472=11.8 个，代入 Sr式得Sr=Cc×Ps×K×Dp×Fs/Np

　　=50×0.005%×10×3.5×472/11.8= 3.5(cm/s)

　　每个测点实际获得时间 Ts=Dp/Sr=1 s

　　所以，采样口的扫描速率是和上游粒子浓度穿透率、K值、采样口的口径、采样流量有着密切的关系。特别需要指出的是， 如采用 28.3 L/min 的粒子计数器和 2.83 L/min的粒子计数器，他们的扫描速率可以相差十倍，也就是讲，每检测一个过滤器的时间也相差十倍。

　　规范要求扫描速率为 5 ～ 20mm/s (其实这个速率是应该根据具体情况可以计算调整的，一般建议采用 28.3 L/min 的粒子计算器，扫描速率在 30 ～ 5mm/s 左右)。

　　规范第5.4.1条指出“对于高效过滤器，应不大于过滤器出厂合格透过率的 2 倍，对于超高效过滤器，应不大于出厂合格透过率的 3倍。”而根据条文说明的第四节评定标准则相反，高效过滤器的透过率是 3 倍，而超高效过滤器的是 2倍。从提供的数据来看，应该是以条文为准。

　　如果上游浓度为 3.5×104 粒子 /L，0.5μm的高效过滤器效率是99.99%，下游浓度为 3.5×104×0.01%×3=10.5。如果粒子计算器检测≤ 10应为合格，否则应进行修复，修补总面积不能超过过滤器截面的 5%，每个修补点修补的最大长度必须在 40mm以下。

　　本文用 ISO 14644-3的检漏方法及有关计算。如上述，Np 是表泄漏特征的粒子数，在 Np=11.8 时，可接受观测计数 Ca=7个。在检漏中，尘埃粒子读数C ≤ Ca时，认为扫描区域无泄露，可继续扫描，否则，要做静态测定。静态测定时，采样头在测点的滞留时间设定为 10秒钟，此时测得的最大粒子数为Npa：Npa=Cc×PL×FS×K=50×0.005%×10×472×10=118

　　这是采样流量为 472 cm3/s，采样时间为 10 s时的读数值，大于此数可判断为泄漏。

　　如果系统总风量不大，DOP 发尘可直接送入总风管。如果 DOP发尘的总量不够，达不到预计的浓度要求，可将 DOP直接发入高效送风口的静压箱。需要指出的是，上游的气溶胶浓度需要检测。如果稳定后，可对每个过滤器进行泄漏检测。如果上游的气溶胶浓度太高，粒子 计数器无法检测，可通过稀释的方法来进行测量。

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